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為了防止材料蒸氣冷凝到割縫壁上，材料的厚度一定不要大大超過激光光束的直徑。
該加工因而只適合于應用在必須避免有熔化材料排除的情況下。
激光汽化切割使用的材料一般有極薄金屬材料和非金屬材料。
在激光切割厚板的情況下，最大切割速度反比于材料的氣化溫度。
所需的激光功率密度要大于108W/cm2，并且取決于材料、切割深度和光束焦點位置。
在板材厚度一定的情況下，假設有足夠的激光功率，最大切割速度受到氣體射流速度的限制。
激光汽化切割過程中，利用的高能量高密度的激光束對工件進行加熱，使溫度上升，并且在很短的時間內讓材質汽化成蒸汽，當這些蒸汽噴出的時候就會在材料上形成一道切口，這樣就達成了切割效果。
但是一般材料汽化的熱很大，所以材料表面溫度升至沸點溫度的速度是如此之快，足以避免熱傳導造成的熔化，于是部分材料汽化成蒸汽消失，部分材料作為噴出物從切縫底部被輔助氣體流吹走。 此情況下需要非常高的激光功率。
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